Qu'est-ce que la plaquette épitaxiale de carbure de silicium?

- Oct 25, 2018-

Epitaxial: Sur le substrat monocristallin (substrat), la croissance d’une couche a certaines exigences (épaisseur et concentration de dopage), et le substrat cristallin est composé de la même couche monocristalline, comme si l’extension du cristal original vers l’extérieur d’un paragraphe, appelée l'extension. La plaquette épitaxiale de carbure de silicium est un monocristal de carbure de silicium servant de film épitaxial de croissance de substrat.